极紫外光刻技术是支撑最先端半导体芯片制造工艺的关键核心技术，有力推动了3 nm工艺节点的量产以及2 nm工艺节点的研发进程。极紫外光刻中的随机缺陷是限制其良率提升的关键难题。一方面，急剧减小的光刻图形特征尺寸对光刻胶各组分化学结构的规整性要求越来越高，而光刻胶中存在的组分不均一、后烘过程中光酸迁移距离以及位置的不确定性等因素都会导致缺陷，这些统称为化学随机性问题。另一方面，极紫外光源的波长（13.5 nm）较短，致使其光子密度很低，仅为上一代ArF光刻工艺中所使用光源（193 nm）的1/14，因此光子的散粒噪声大幅增加，导致了不可避免的光子随机性问题。这些问题的存在，使得EUV光刻胶中的材料体系在分子尺寸、分布均一性等方面较上一代光刻材料有着更严格的要求。本文系统性综述了近年来针对极紫外光刻胶中上述随机性问题的研究，并从化学随机性、光子随机性以及计算模拟三个方向对研究现状进行了追踪。
极紫外 化学随机性 光子随机性 光刻胶 光酸迁移距离
1 华侨大学 机电及自动化学院，福建厦门3602
2 厦门理工学院 机械与汽车工程学院，福建厦门36104
3 华侨大学 制造工程研究院，福建厦门61021
4 福建省移动机械绿色智能驱动与传动重点实验室，福建厦门361021
针对静电纺丝射流直径小、速度快，不易检测的难题，提出一种带同轴激光辅助的静电纺丝射流检测方法。基于光波导传输原理，激光经由光纤传导到同轴针内针出口处与纺丝射流耦合，有效增强了射流与背景的对比度。结合图像处理技术，对比分析有激光辅助和无激光辅助的静电纺丝射流图像的演变规律，并在此基础上探索辅助激光的最佳功率。实验结果表明，同轴激光辅助有助于增强射流的可检测性，最适于射流检测的激光功率为4 mW；在射流稳定阶段，有光辅助下射流平均可视化长度为10.79 mm，无光辅助射流平均可视化长度为5.68 mm，有光辅助下射流可视化长度平均提升了89.81%；对于细小射流，有光辅助下射流平均可视化长度为5.36 mm，无光辅助射流平均可视化长度为3.33 mm，有光辅助下射流可视化长度平均提升了60.74%。因此，引入同轴激光能有效提高静电纺丝射流的可检测性，为微纳喷印的实时检测提供了一种新思路。
静电纺丝 同轴激光 激光辅助 射流检测 electrospinning coaxial laser laser assisted jet detection
入海河流是陆源污染物向海洋输送过程的关键环节, 其富营养化对区域生态环境及人类生活安全构成严重威胁。 由于习近平生态文明思想的深入贯彻, “河长制”、 “湾长制”等管理制度的广泛推行, 以及污染防治攻坚战的全面打响, 入海河流与近岸海域的水质状况得到稳步改善, 但仍存在波动, 污染防治形势依然严峻, 实时有效的大范围遥感监测能力亟待加强。 随着近年来高分卫星与无人机遥感技术的迅速发展, 如何将定量遥感技术应用于河流水体的生态环境要素监测, 从而推进污染防治水平进一步提升已成为该领域研究热点。 基于2022年6月期间在连云港境内蔷薇河、 临洪河、 古泊善后河及灌河获取的叶绿素a、 总磷、 总氮浓度等实测数据, 并采用Sentinel-2A MSI L2A卫星影像, 开展了连云港主要入海河流叶绿素a及综合营养状态指数［TLI(Σ)］遥感定量反演研究。 结果表明, 叶绿素a浓度、 综合营养状态指数与可见光波段反射率的相关性明显高于其他波段, 尤以490、 560、 665 nm三个波段最佳, 其中R(λ)与Chl a的相关系数分别为-0.697、 -0.681、 -0.693, R(λ)与TLI(Σ)的相关系数分别为-0.728、 -0.744、 -0.706, 可作为建模的敏感波段； 经反演模型的精度对比发现, 以R(665)为自变量, 在叶绿素a浓度对数坐标下的乘幂模型为其遥感定量反演的最优模型(R2=0.67, MAPE=47.34%, RMSE=12.89 μg·L-1), 而以R(560)为自变量的乘幂模型是综合营养状态指数遥感定量反演的最优模型(R2=0.61, MAPE=4.36%, RMSE=3.45)； 将最优模型应用于2022年6月25日Sentinel-2A MSI L2A影像, 得到连云港主要入海河流叶绿素a浓度和综合营养状态指数的空间分布结果, 发现蔷薇河/临洪河、 古泊善后河及灌河均处于富营养化状态, 叶绿素a浓度和综合营养状态指数均以蔷薇河/临洪河最高, 古泊善后河次之, 灌河最低, 且河流上游反演结果普遍高于下游。
叶绿素a 综合营养状态指数 遥感定量反演 入海河流 连云港 Chlorophyll a Trophic level index Remote sensing quantitative retrieval Seagoing rivers Lianyungang 光谱学与光谱分析
2023, 43(10): 3314
1 中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所, 中国科学院环境光学与技术重点实验室,安徽 合肥 230031
2 安徽大学物质科学与信息技术研究院信息材料与智能感知安徽省实验室, 安徽 合肥 230039
3 合肥学院生物食品与环境学院, 安徽 合肥 230601
浮游藻类作为单细胞生物，其光合活性外界胁迫作用响应灵敏，是水质综合毒性检测的良好受试生物，因此认识受试藻种光合活性状态对温度和光照等主要环境因子的响应规律，掌握有效控制受试藻种光合活性状态和浓度的培养条件，对水质综合毒性检测至关重要。以模式受试生物蛋白核小球藻为研究对象，研究了不同温度梯度和光照强度下蛋白核小球藻光合活性变化规律。研究结果显示：蛋白核小球藻在不同梯度光照下，藻种光合活性和藻种浓度的变化非常明显。低光照下 (75 μE、125 μE) 藻种平均光合活性在0.60左右但藻种浓度基本不增加；中光照下 (175、225、300、375 μE) 藻种平均光合活性在0.57左右且此时藻种浓度有明显增加，其中，实验最佳光照为375 μE；高光照下 (475 μE和600 μE) 藻种平均光合活性低于0.56 (初始活性)，会对藻种的生长状态产生胁迫。不同梯度温度下藻种光合活性和藻种浓度也有明显变化，中低温下 (5、15、25 ℃) 藻种平均光合活性在0.59左右且藻种浓度随着温度的升高而增加，最佳温度为25℃；高温下 (30、35、40 ℃) 藻种光合活性迅速下降直至失活。研究结果表明可以通过控制光照和温度来控制浮游藻类的光合活性和生长速度，为在线水质综合毒性测量仪提供标准的受试藻样培养方式，从而给便携式水质综合毒性测量仪的研发奠定基础。
浮游藻类 光合活性 叶绿素荧光 环境因子 planktonic algae photosynthetic activity chlorophyll fluorescence environmental factors 大气与环境光学学报
2023, 18(2): 133
1 空军工程大学信息与导航学院通信系统教研室，陕西 西安 710077
2 装备发展部某中心，北京 100034
针对动态卫星光网络中的波长资源紧缺问题，研究了其波长数与网络物理连通度的关系，提出了一种基于时空冲突图的波长资源特性分析方法。利用随机生成网络拓扑连接的方式，将卫星光网络的动态拓扑离散为空间和时间冲突图，分别表示网络的物理连通度和有效窗口。基于时空冲突图理论，建立空间冲突避免的路径选择概率和时间存储的有效窗口业务概率，两者相乘得到时空冲突概率，进而计算网络所需波长数。研究结果表明，波长需求与网络物理连通度、链路最大跳数和转发器数目有着密切关系，在业务重叠因子较大的情况下应该给卫星光网络分配更多的波长资源。
光纤光学与光通信 卫星光网络 波长资源 时空冲突图 物理连通度 网络连通度 激光与光电子学进展
2023, 60(9): 0906002
国防科技大学电子科学学院, 湖南长沙 410073
为实现对城市用频设备的精确管控, 针对特定辐射源开集识别问题, 构建了一套基于深度学习的辐射源个体开集识别处理流程, 核心在于指纹特征有效区间筛选与基于深度自编码器的开集识别模型。一方面, 通过使用 Grad-CAM实现对深度网络激活可视化, 筛选出信号对网络激活贡献较高的部分, 在不损失过多指纹信息的情况下进行信号区间筛选; 另一方面, 建立基于半监督对抗自编码器的辐射源个体开集识别模型, 实现对电磁环境中出现的未知辐射源个体的有效识别。实验表明此开集识别模型能够在不损失闭集识别率的条件下实现高精确度的开集识别。
辐射源识别 开集识别 深度学习 自编码器 Grad-CAM算法 specific emitter identification open set recognition deep learning deep selfencoder Grad-CAM 太赫兹科学与电子信息学报
2022, 20(12): 1285
1 西安交通大学 电信学院， 西安 710049
2 西安交通大学 微电子学院， 西安 710049
3 华为技术有限公司， 广东 东莞 523808
采用55 nm标准CMOS工艺，设计并流片实现了一种应用于Wi-Fi 6(5 GHz)频段的宽带全集成CMOS低噪声放大器(LNA)芯片，包括源极退化共源共栅放大器、负载Balun及增益切换单元。在该设计中，所有电感均为片上实现；采用Balun负载，实现信号的单端转差分输出；具备高低增益模式，以满足输入信号动态范围要求。测试结果表明，在高增益模式下该放大器的最大电压增益为20.2 dB，最小噪声系数为2.2 dB；在低增益模式下该放大器的最大电压增益为15 dB，最大输入1 dB压缩点为-3.2 dBm。芯片核心面积为0.28 mm2，静态功耗为10.2 mW。
低噪声放大器 巴伦 高低增益模式 low noise amplifier balun high gain and low gain mode Wi-Fi 6 Wi-Fi 6
中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系, 安徽 合肥 230027
选区激光熔化中逐行逐层扫描粉末成形的熔道以及熔结表面在很大程度上影响制件质量。从选区激光熔化的工艺原理出发, 得到单行扫描优化的线能量密度范围, 进一步结合平均重熔率对多行扫描熔道搭接的介观表面形貌进行分析, 结果表明, 线能量密度在0.070~0.217 J/mm时, 熔道相对连续、线宽相对均匀; 多行扫描的平均重熔率过小会造成较大表面高度差, 过大会产生裂纹, 平均重熔率为18%~50%时能得到较为平整的熔结表面。
选区激光熔化 线能量密度 熔结表面 平均重熔率 selective laser melting linear energy density fusion surface average re-melting rate
华中光电技术研究所-武汉光电国家研究中心, 湖北 武汉 430223
复杂海空背景下红外小目标检测和跟踪算法决定了光电跟踪设备的探测性能。为了解决复杂海空背景下的红外小目标检测跟踪难题, 提出了一种复杂海空背景下的红外小目标抗干扰检测跟踪算法。在检测阶段, 为了抑制不同区域中各类杂波, 该算法利用不同的分类器分别区分不同区域的杂波和小目标; 在跟踪阶段, 为了进一步剔除孤立噪声和杂波干扰, 采用高斯混合概率假设密度滤波器进行目标航迹维持。在仿真视频上进行的目标检测跟踪实验表明, 所提算法相比以往的跟踪算法, 正确跟踪率提升了约10%, 平均跟踪精度提升了约50%。该算法具有较好的工程可行性。
海空背景 红外小目标 目标检测 目标跟踪 抗干扰 sea-sky background infrared small target target detection target tracking anti-jamming
1 中国科学院安徽光学精密机械研究所 环境光学与技术重点实验室, 安徽 合肥 230031
3 桂林电子科技大学 计算机与信息安全学院, 广西 桂林 541004
浮游植物初级生产作为海洋生态系统的重要起点, 是海洋食物网的基础, 是衡量海水质量的重要指标。 为了准确测量、 监测和预测浮游植物初级生产力的时空变化及其对外部环境条件的动力学响应, 研究了一种基于叶绿素荧光动力学的测量技术, 研制出响应时间为1.6 min、 精度为4.86%的快速测量仪器。 仪器测得的浮游植物初级生产力与液相氧电极法测得的光合放氧速率的相关系数为0.991。 该仪器装备在中国海监101号实验船上, 用于黄渤海浮游植物初级生产力在线测量和垂直剖面测量。 测量结果表明, 渤海湾内的浮游植物初级生产力是湾外的1.1~1.4倍, 垂直剖面测量结果显示黄海区域各点位的浮游植物初级生产力的均与深度相关。 与传统方法相比, 所研制的仪器具有快速、 稳定、 无需样品培养等优点, 可为海洋生态环境评价提供先进的技术方法。
浮游植物 荧光动力学 光合荧光参数 初级生产力 快速测量 Phytoplankton Fluorescence kinetics Photosynthetic fluorescence parameters Primary productivity Fast measurement
